Modulbeschreibung

Nanosensorik

Mechatronik, Master (PO-2023)

Modulnummer / Modulcode	WP-ME-MA-33
Modulname	Nanosensorik
Art des Moduls	Wahlpflicht
Lernergebnisse, Kompetenzen, Qualifikationsziele	Der/die Studierende kann nanotechnologische Prinzipien in der Sensorik und Messtechnik Er/Sie kann verschiedene, in der aktuellen Forschung, verwendete Messtechniken und Funktionsweisen von Messverfahren unterscheiden und beurteilen Synergien und Analogien zwischen Ingenieurs- und Naturwissenschaften herstellen Informationen sinnvoll selektieren, interpretieren und klar strukturierte und informative Vorträge konzipieren.
Lehrveranstaltungsarten	VLmP (2 SWS), S (2 SWS)
Lehrinhalte	Einführung in die Sensorik und Aktuatorik für die Informations-, Mess-, Steuer- und Regelungstechnik. Aus dem Inhalt: Das Lichtmikroskop und die Bedeutung der Auflösungsgrenze, konfokale Mikroskopie Weißlichtinterferometrie, interferometrische Messtechnik, Holographie (Sem.) Faseroptische Sensoren, optische Messtechnik (Sem.) Charakterisierung von Dünnschichten (Ellipsometrie) und Halbleitern (PL, Laser Gain, Röntgenbeugung, Elektronenbeugung), (VL) Rasterproben-Mikroskopie (AFM, STM, SNOM, ...) Elektronenmikroskopie (REM, TEM, FIB), (VL)
Titel der Lehrveranstaltungen	Nanosensorics Principles of Optical Metrology
Lehr- und Lernmethoden (Lehr- und Lernformen)	Vorlesung, Seminar
Verwendbarkeit des Moduls
Dauer des Moduls	Ein Semester
Häufigkeit des Angebotes	jährlich im Wintersemester
Sprache	Englisch
Empfohlene (inhaltliche) Voraussetzungen für die Teilnahme am Modul	Grundwissen in Optik, Werkstoffkunde und Halbleiterbauelementen (LV Elektronische Bauelemente, LV Werkstoffe der Elektrotechnik, LV Komponenten der Optoelektronik, LV Sensoren und Messsysteme), Englischkenntnisse Niveau B2
Voraussetzungen für die Teilnahme am Modul
Studentischer Arbeitsaufwand	180 h (60 h Präsenz + 120 h Selbststudium)
Studienleistungen
Voraussetzung für Zulassung zur Prüfungsleistung
Prüfungsleistungen	Prüfungsleistung P1: Mündliche Prüfung (30 Min.) Notengewichtung P1: 67% Prüfungsleistung P2: Präsentation (30-45 Min.). Nach vorheriger Ankündigung durch den Dozenten können beim Seminar Anwesenheitslisten geführt werden. Notengewichtung P2: 33%
Anzahl Credits (ECTS)	6 cp, davon 3 cp für Schlüsselkompetenzen
Lehreinheit	Elektrotechnik
Modulverantwortliche/r	Prof. Dr. Peter Lehmann
Lehrende	Prof. Dr. Thomas Kusserow / Prof. Dr. Peter Lehmann und Mitarbeitende
Medienformen	Beamer, Tafel, Laborexperimente
Literatur	Göpel, W.: "Sensors - A Comprehensive Survey", VCH, 1997 Török, P.: "Optical Imaging and Microscopy", Springer, 2007 Bhushan (Ed.) “Springer Handbook of Nanotechnology”, 2nd Ed., Springer Verlag 2007 Murphy, D.B.; "Fundamentals of Light Microscopy and Electronic Imaging", John Wiley & Sons, 2001 Malacara, D.: "Optical Shop Testing", Wiley-Interscience, 3.ed. , 2007 Weitere Literatur wird in der Vorlesung bzw. auf der Homepage des Fachgebiets bekannt gegeben.