Nanosensorik

Mechatronik, Master (PO-2023)

Modulnummer / ModulcodeWP-ME-MA-33
ModulnameNanosensorik
Art des ModulsWahlpflicht
Lernergebnisse, Kompetenzen, Qualifikationsziele

Der/die Studierende kann

  • nanotechnologische Prinzipien in der Sensorik und Messtechnik
  • Er/Sie kann verschiedene, in der aktuellen Forschung, verwendete Messtechniken und Funktionsweisen von Mess­verfahren unterscheiden und beurteilen
  • Synergien und Analogien zwischen Ingenieurs- und Naturwissen­schaften herstellen
  • Informationen sinnvoll selektieren, interpretieren und klar strukturierte und informative Vorträge konzipieren.
LehrveranstaltungsartenVLmP (2 SWS), S (2 SWS)
Lehrinhalte

Einführung in die Sensorik und Aktuatorik für die Informations-,  Mess-, Steuer- und Regelungstechnik.

Aus dem Inhalt:

  • Das Lichtmikroskop und die Bedeutung der Auflösungsgrenze, konfokale Mikroskopie
  • Weißlichtinterferometrie, interferometrische Messtechnik, Holographie (Sem.)
  • Faseroptische Sensoren, optische Messtechnik (Sem.)
  • Charakterisierung von Dünnschichten (Ellipsometrie) und Halbleitern (PL, Laser Gain, Röntgenbeugung, Elektronenbeugung), (VL)
  • Rasterproben-Mikroskopie (AFM, STM, SNOM, ...)
  • Elektronenmikroskopie (REM, TEM, FIB), (VL)
Titel der LehrveranstaltungenNanosensorics
Principles of Optical Metrology
Lehr- und Lernmethoden (Lehr- und Lernformen)Vorlesung, Seminar
Verwendbarkeit des Moduls
Dauer des ModulsEin Semester
Häufigkeit des Angebotesjährlich im Wintersemester
SpracheEnglisch
Empfohlene (inhaltliche) Voraussetzungen für die Teilnahme am ModulGrundwissen in Optik, Werkstoffkunde und Halbleiterbauelementen (LV Elektronische Bauelemente, LV Werkstoffe der Elektrotechnik, LV Komponenten der Optoelektronik, LV Sensoren und Messsysteme), Englischkenntnisse Niveau B2
Voraussetzungen für die Teilnahme am Modul keine
Studentischer Arbeitsaufwand180 h (60 h Präsenz + 120 h Selbststudium)
Studienleistungenkeine
Voraussetzung für Zulassung zur Prüfungsleistungkeine
PrüfungsleistungenPrüfungsleistung P1: Mündliche Prüfung (30 Min.)
Notengewichtung P1: 67%
Prüfungsleistung P2: Präsentation (30-45 Min.). Nach vorheriger Ankündigung durch den Dozenten können beim Seminar Anwesenheitslisten geführt werden.
Notengewichtung P2: 33%
Anzahl Credits (ECTS)6 cp, davon 3 cp für Schlüsselkompetenzen
LehreinheitElektrotechnik
Modulverantwortliche/rProf. Dr. Peter Lehmann
LehrendeProf. Dr. Thomas Kusserow / Prof. Dr. Peter Lehmann und Mitarbeitende
MedienformenBeamer, Tafel, Laborexperimente
Literatur
  • Göpel, W.: "Sensors - A Comprehensive Survey", VCH, 1997
  • Török, P.: "Optical Imaging and Microscopy", Springer, 2007
  • Bhushan (Ed.) “Springer Handbook of Nanotechnology”, 2nd Ed., Springer Verlag 2007
  • Murphy, D.B.; "Fundamentals of Light Microscopy and Electronic Imaging", John Wiley & Sons, 2001
  • Malacara, D.: "Optical Shop Testing", Wiley-Interscience, 3.ed. , 2007

Weitere Literatur wird in der Vorlesung bzw. auf der Homepage des Fachgebiets bekannt gegeben.