Modulbeschreibung

Thin-Film Microfabrication and Characterization

Maschinenbau, Master (PO-2023)

Modulnummer / Modulcode	WP-TFMC
Modulname	Thin-Film Microfabrication and Characterization
Art des Moduls	Wahlpflicht
Lernergebnisse, Kompetenzen, Qualifikationsziele	Die Studierenden können… grundlegende Prozesse der Mikro- und Dünnschichttechnologie erläutern, wie sie in modernen Reinraumumgebungen eingesetzt werden mechanische Charakterisierungsmethoden für Dünnschichten auswählen, und deren Messergebnisse interpretieren Prozesse und Charakterisierungstechniken hinsichtlich Funktionsprinzip und Grenzen beschreiben englische Fachbegriffe anwenden
Lehrveranstaltungsarten	VL (2 SWS)
Lehrinhalte	microdevices. While these components are often designed from an electrical or optical perspective, their reliability and performance are strongly governed by mechanical properties and interface behavior. The ability to characterize materials at micro- and nanoscale is therefore paramount for modern mechanical engineering. Offered in cooperation with INA/FB16, the course combines established microfabrication expertise with mechanical thin-film characterization. It broadens the perspective of mechanical engineers towards manufacturing approaches at micro- and nano-scale and provides students with the skills to bridge fabrication and materials testing. The focal points are: Microfabrication Fundamental concepts and processes Cleanroom technology Vacuum technology Materials for electronic devices Wafer fabrication Thin-film deposition technology Lithography methods Etching processes Doping of semiconductors, thermal annealing, wafer fusion/onding Examples for typical device fabrication Mechanical characterization of Thin Films Nanoindentation Scratch Tests Micromechanical Testing Bulge Testing
Titel der Lehrveranstaltungen	Technology of Electronic and Optoelectronic Devices
Lehr- und Lernmethoden (Lehr- und Lernformen)	Vorträge
Verwendbarkeit des Moduls	B.Sc. Maschinenbau M.Sc. Maschinenbau
Dauer des Moduls	ein Semester
Häufigkeit des Angebotes	jährlich im Sommersemester
Sprache	englisch
Empfohlene (inhaltliche) Voraussetzungen für die Teilnahme am Modul
Voraussetzungen für die Teilnahme am Modul	keine
Studentischer Arbeitsaufwand	2 SWS VL (30 Std.) Selbststudium (60 Std.)
Studienleistungen	keine
Voraussetzung für Zulassung zur Prüfungsleistung	keine
Prüfungsleistungen	Mündliche Prüfung (15 Minuten)
Anzahl Credits (ECTS)	3 cp
Lehreinheit	Maschinenbau
Modulverantwortliche/r	Prof. Dr.-Ing. Benoit Merle
Lehrende	Prof. Dr.-Ing. Benoit Merle / Prof. Dr. rer. nat. Hartmut Hillmer
Medienformen	Beamer, Tafel, E-learning
Literatur	Menz: Microsystem Technology, Wiley-VCH Madou: Fundamentals of Microfabrication and Nanotechnology, CRC Press Ohring: Materials Science of Thin Films Deposition and Structure, Academic Press F. Hosford: Mechanical Behavior of Materials, Cambridge University Press